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最新消息 3 月 29 日消息，3 月 29 日，清华大学发布了等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。

该公告显示，清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标，欲采购 1 套等离子体刻蚀机，采购预算为 165 万元。

设备用途介绍 :

该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。

简要技术指标 :

真空系统:★分子泵抽速≥1300L / s，干泵抽速≥100m3 / h；

下电极:★满足 8 英寸样品刻蚀需要，更小样品或碎片可贴片装载；

软件和控制系统:★自主版权的软件，Windows 操作系统软件；

机台工艺能力:★主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料、介质材料等。